연구분야
삼양엔씨켐은 그 동안 축적 된 유기 합성 기술, 고분자 합성 기술 등 다양한 분석 기술을 기반으로
반도체 같은 다양한 전자산업 분야에 사용되는 핵심 폴리머 재료들을 개발하고 있습니다.
또한 개발 및 양산화 제품의 품질을 위해 PPB(Parts Per Billion) 단위까지 측정이 가능한 장비로 관리하고 있습니다.
폴리머 재료
반도체 포토레지스트용 핵심 원재료인
KrF폴리머, ArF 폴리머, EUV 폴리머 등
감광제 재료
반도체 KrF 및 ArF,
EUV PAG 등
핵심역량
제품의 혁신성과 지속적인 경쟁 우위를 확보하기 위해 차별화된 기술역량을 보유하고 있습니다.
| Division | MW | PDI | TS (%) | Metal (ppb) | Purity(%) | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Total | UEach | ||||||
| Polymer | KrF | 5,000 ~ 40,000 | 1.2 ~ 1.6 | 50 | <10 | <5 | - |
| ArF | 5,000 ~ 10,000 | 1.5 ~ 1.8 | 30 | <10 | <5 | - | |
| EUV | 3,000 ~ 10,000 | 1.3 ~ 1.6 | 30 | <10 | <5 | - | |
| BARC | 7,000 ~ 50,000 | 1.3 ~ 2.0 | 10 | <10 | <5 | - | |
| Division | Metal(ppb) | Purity(%) | NMR ratio (cation/anion, %) |
Residual halide (Total, ppm) |
||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Total | Each | |||||
| PAG | KrF | <30 | <5 | >99.50 | 50.00 ± 0.50 | <50.0 |
| ArF | <20 | <5 | >99.50 | 50.00 ± 0.50 | <50.0 | |
| EUV | <10 | <3 | >99.90 | 50.00 ± 0.50 | <30.0 | |
